36氪獲悉，精密儀器裝備研發(fā)企業(yè)「普樂精儀」日前完成千萬級天使＋輪融資，投資方為南山戰(zhàn)新投。普樂精儀為奇績創(chuàng)壇2023春季營團(tuán)隊(duì)，此前已獲奇績創(chuàng)壇天使輪投資，累計(jì)融資金額達(dá)數(shù)千萬元人民幣。本輪融資資金將用于市場開拓及產(chǎn)品研發(fā)。

（云科技大廈）

普樂精密儀器（深圳）有限公司（以下簡稱「普樂精儀」）成立于2023年3月，基于自研超分辨率顯微視覺方法，主攻超精密測量儀器及運(yùn)動臺。精密測量主要應(yīng)用于集成電路、高端數(shù)控機(jī)床等先進(jìn)制造領(lǐng)域，解決高精度測量、定位等難題。伴隨下游應(yīng)用場景迅速發(fā)展，精密測量也面臨量程更大、所需精度更高等挑戰(zhàn)。

現(xiàn)有精密測量方法主要包括光柵尺和激光干涉儀兩類，且均存在改進(jìn)空間。光柵尺多為線性單軸測量，較難同時(shí)保證多軸正交性；激光測量則對環(huán)境穩(wěn)定性要求極高，且多自由度標(biāo)定工作繁瑣費(fèi)時(shí)。

對此，普樂精儀自研超分辨率顯微視覺測量方法，能夠同時(shí)測量平面線性及角度位移，實(shí)時(shí)精確記錄運(yùn)動軌跡，絕對式編碼保證定位精準(zhǔn)，且結(jié)構(gòu)更簡單、成本更低，能夠廣泛適用于各精密測量場景。

具體來看，這一測量方法基于創(chuàng)始人趙晨陽提出的超分辨率微結(jié)構(gòu)，并采用單點(diǎn)金剛石切削等工藝制造其精密部件，確保功能實(shí)現(xiàn)。該測量方法的光學(xué)模型由普樂精儀團(tuán)隊(duì)自主提出，通過光強(qiáng)、光源等要素的選擇及應(yīng)用，保障測量設(shè)備運(yùn)作過程中的穩(wěn)定性等。此外，普樂精儀的核心算法也幫助提高測量精度及計(jì)算速度。

技術(shù)原理基礎(chǔ)上，普樂精儀現(xiàn)已開發(fā)精密運(yùn)動臺及精度分析儀兩產(chǎn)品方向，分別面向半導(dǎo)體晶圓加工檢測及高端數(shù)控機(jī)床診斷。

其中，精密運(yùn)動臺是用于晶圓檢測、激光切割等集成電路生產(chǎn)環(huán)節(jié)中重要設(shè)備組件。普樂精儀產(chǎn)品使用超分辨率顯微視覺測量方法，并配合視覺伺服技術(shù)，能夠超越傳統(tǒng)運(yùn)動臺所使用的光柵尺，實(shí)現(xiàn)運(yùn)動臺絕對位置的精準(zhǔn)定位并精確記錄每次運(yùn)動軌跡。相比市面占主導(dǎo)的國際廠商產(chǎn)品，普樂精儀運(yùn)動臺生產(chǎn)成本約能降至其1/2。

機(jī)床精度分析儀主要用于數(shù)控機(jī)床出廠及使用中的校準(zhǔn)，普樂精儀產(chǎn)品能夠替代目前廣泛使用的球桿儀，解決此前接觸式測量導(dǎo)致的磨損、無法測量小半徑圓軌跡及任意軌跡等問題。普樂精儀機(jī)床分析儀現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)三自由度、1μm精度級別的非接觸式任意軌跡測量，同時(shí)價(jià)格更具優(yōu)勢。

團(tuán)隊(duì)方面，公司創(chuàng)始人兼CEO趙晨陽為現(xiàn)任哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）機(jī)電工程與自動化學(xué)院副教授、博導(dǎo)，超精密測量儀器港澳聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室主任。公司其他核心成員均來自哈爾濱工業(yè)大學(xué)，團(tuán)隊(duì)已在相關(guān)領(lǐng)域發(fā)表學(xué)術(shù)論文40余篇，授權(quán)發(fā)明專利10余項(xiàng)。

南山戰(zhàn)新投投資團(tuán)隊(duì)表示，精密定位測量是工業(yè)自動化的重要組成部分，普樂精儀作為國內(nèi)第一家將基于顯微視覺的精密定位技術(shù)應(yīng)用于超精密運(yùn)動臺的團(tuán)隊(duì)，在技術(shù)指標(biāo)上優(yōu)秀，精度上可以做到納米級，在成本上具有普及的潛力，并實(shí)現(xiàn)了技術(shù)和供應(yīng)鏈的國產(chǎn)自主可控。因此，產(chǎn)品有望拓展更多對高精度、大量程、性價(jià)比的半導(dǎo)體設(shè)備、高端數(shù)控機(jī)床行業(yè)，充分挖掘超精密測量儀器以及運(yùn)動平臺應(yīng)用的潛在市場。其次，團(tuán)隊(duì)創(chuàng)始人是超精密測量領(lǐng)域知名學(xué)者，擁有國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)背景，公司掌握前瞻性技術(shù)和工程化經(jīng)驗(yàn)。如今，公司已完成高校科技成果轉(zhuǎn)化，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程提速，普樂精儀未來可期。

奇績創(chuàng)壇合伙人欒運(yùn)明表示，測量精度是制約國產(chǎn)儀器設(shè)備的重要瓶頸，普樂精儀團(tuán)隊(duì)在這方面技術(shù)積累深厚，同時(shí)他們也有極強(qiáng)的產(chǎn)品迭代和供應(yīng)鏈整合能力，在奇績創(chuàng)業(yè)營期間成立公司并發(fā)展快速。相信依托他們自主研發(fā)的精度分析儀與精密運(yùn)動平臺的強(qiáng)勢入場，普樂精儀將成為超精密儀器和先進(jìn)制造領(lǐng)域的新勢力，持續(xù)助力半導(dǎo)體設(shè)備、高端機(jī)床等行業(yè)的國產(chǎn)化突破。

哈深資產(chǎn)公司董事長王軒表示，普樂精儀作為集產(chǎn)學(xué)研一體的科技型公司，是哈工大（深圳）孵化的標(biāo)志性項(xiàng)目成果。趙晨陽教授團(tuán)隊(duì)在精密測量領(lǐng)域有著深厚的技術(shù)積累，基于自主研發(fā)的技術(shù)成果，打破了領(lǐng)域內(nèi)的國外技術(shù)壟斷，公司發(fā)展前景十分廣闊。同時(shí)，普樂精儀在產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展實(shí)踐過程中，展現(xiàn)出了旺盛的生命力與蓬勃的朝氣，這個(gè)年輕的科技公司將為國內(nèi)制造技術(shù)的發(fā)展持續(xù)貢獻(xiàn)力量。

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文丨肖千平

普樂精密儀器（深圳）有限公司成立于2023年3月，專注于半導(dǎo)體設(shè)備及高端數(shù)控機(jī)床等行業(yè)，核心成員來自哈爾濱工業(yè)大學(xué)大學(xué)等重點(diǎn)院校，是超精密測量儀器裝備國產(chǎn)替代的引領(lǐng)者。公司主要有精度分析儀(測量精度:1μm)和精密運(yùn)動平臺(定位精度:500nm)兩大核心產(chǎn)品。